信越HIVAC-F4/HIVAC-F5具有耐氧化性、熱穩(wěn)定性、耐化學藥品性的苯甲基有機硅油。像石油類泵用油以及脂肪酸酯類的泵用油一樣，不會出現(xiàn)由于熱以及氣體吸附所造成的熱破裂現(xiàn)象。另外，在加熱狀態(tài)下，幾乎完全不會出現(xiàn)因真空破壞時發(fā)生氧化產(chǎn)生氣體以及生產(chǎn)酸、焦油、瀝青類的物質(zhì)等現(xiàn)象。因此，即使是長期使用也能夠保證真空泵的穩(wěn)定運行。